真空泵研发及制造；泵及真空设备制造；真空阀门制造；真空计制造；试验机械、检测仪器、器具零件制造；集成电路生产设备制造；集成电路封装、测试设备制造；电子半导体材料制造；实验分析仪器制造；计算机软硬件技术开发、技术咨询、技术服务；工业软件开发；基础软件开发；基础软件服务；工程和技术研究和试验发展；工程和技术基础科学研究服务；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）